用途：半導体検査装置に使用される架台

材質：SS

重要製造工程：溶接、アニーリング、プレーナーフライス盤加工、酸洗い処理、塗装

クリティカルポイント： 平面度0.01

用途：半導体洗浄設備に使用されるパイプ部品

材質：SUS316L

重要製造工程：溶接、アニーリング、４軸マシニングセンタ、酸洗い・不動態化処理

クリティカルポイント：弁体平行度0.01、直角度0.01